介紹適用于半導(dǎo)體制造裝置等清潔室的電動滑臺。通過采用低發(fā)塵的滾輪結(jié)構(gòu)和低發(fā)塵清潔脂，實現(xiàn)了ISO規(guī)格等級3（FED規(guī)格等級1相當(dāng)）的清潔度。