步進電動機
真空型（真空度10-5～10-4Pa）
- 在10-5～10-4Pa的真空環(huán)境下使用
- AC/DC輸入
特征 | 步進電動機 真空型
真空型電動機的特征與結(jié)構(gòu)
- 為了抑制氣體釋放，電動機外殼使用鋁、不銹鋼材質(zhì)，表面不涂裝。 此外，軸承使用真空用潤滑油。
- 釋放的氣體與通常潔凈環(huán)境下的成分相同，因此無須擔(dān)心污染真空環(huán)境。
- 使用可承受熱處理溫度的耐熱用線圈。
真空型電動機的優(yōu)點
使設(shè)備小型化，擴大設(shè)計的自由度
在大氣中設(shè)置電動機時，需使用傳動機構(gòu)等，設(shè)備體積會變大。 真空型電動機可將設(shè)置于真空環(huán)境內(nèi)，因此可讓設(shè)備小型化。 此外，αSTEP AR 系列不需要位置確認(rèn)用傳感器，有助于降低成本。
使用αSTEP AR 系列，無需編碼器即可進行位置監(jiān)控
αSTEP AR 系列除了通過閉環(huán)控制監(jiān)視電動機信息外，還搭載各種Alarm輸出功能。 不需要真空對應(yīng)型的昂貴編碼器。
搭載轉(zhuǎn)子位置檢測傳感器，可檢測電動機信息并控制電動機。
在真空中實現(xiàn)各種運動
常用于各式各樣的用途，如半導(dǎo)體制造設(shè)備及電子顯微鏡的測量機器等。
真空型電動機可對應(yīng)真空環(huán)境下的多軸平臺，解決難以設(shè)計傳動機構(gòu)的問題。 可在真空中組合復(fù)數(shù)軸，實現(xiàn)更復(fù)雜的動作。
有助于維持真空環(huán)境的質(zhì)量
抑制氣體釋放污染真空室的設(shè)計
為了抑制氣體的產(chǎn)生，電動機表面不做涂裝，軸承部分則使用了真空用潤滑油。產(chǎn)生的氣體方面，與通常潔凈環(huán)境下的氣體成分相同，因此使用時無需擔(dān)心污染真空環(huán)境。
抑制溫度上升維持真空壓
通常，隨著電動機電流值增加，真空壓力會變高。 電動機溫度上升主因是線圈或樹脂材料的水分蒸發(fā)增加而導(dǎo)致。 若要讓真空壓維持較低狀態(tài)，重點在于保持較低的電動機溫度。
電動機電流值增加 → 電動機溫度升高 → 電動機部件中的水分蒸發(fā) → 真空度升高
αSTEP AR 系列具有依據(jù)負(fù)載轉(zhuǎn)矩大小調(diào)整電動機電流的功能（CC 模式）。 使用 CC 模式可抑制電動機溫度，并使維持在低真空壓。
下圖為連續(xù)運行及運轉(zhuǎn)周期比率（斷續(xù)運轉(zhuǎn)）時的轉(zhuǎn)速—溫度特性。
- 即使是溫度容易升高的連續(xù)運行，若運行速度維持在 900r/min 以下，外表溫度不會超過 100°C。
- 500r/min 周期運轉(zhuǎn)時的外殼溫度與各模式相比，CC 模式時為 46°C，通常模式時為 80°C。 CC 模式下溫度降低 34°C。
產(chǎn)品陣容
| 電源輸入 | 系列名稱 | 基本步距角 [°] |
真空度 [Pa] |
安裝尺寸 [mm] |
質(zhì)量 [kg] |
|||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 28 | 42 | 60 | 85 | |||||
| AC |
|
0.36 | 10-5 | - | ● | ● | ● | 0.47～1.9 |
| DC | ● | ● | ● | ● | 0.2～3 | |||
| DC |
／CVD 系列驅(qū)動器 
|
0.72 | 10-4 | - | ● | ● | - | 0.21～1.3 |
| 10-5 | ● | - | - | - | 0.11～0.2 | |||
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技術(shù)資料
在 RENGA 技術(shù)報告書中，刊登了關(guān)于真空電動機的詳細(xì)信息和資料。
- （2008年11月發(fā)行）
記載了關(guān)于真空的基礎(chǔ)內(nèi)容。 - （2011年6月發(fā)行）
記載了 αSTEP AR 系列專門針對真空的內(nèi)容。
