步進電動機的全閉環(huán)控制

在開始定位時，利用步進電動機的高響應(yīng)進行開環(huán)控制，從位置指令結(jié)束開始，使用外部傳感器的反饋，通過全閉環(huán)控制進行位置修正。

實現(xiàn)高精度定位

通過全閉環(huán)控制，直接反饋機構(gòu)上的位置，并修正檢測位置和指令位置之間的差異。為需要亞微米級高精度定位的設(shè)備設(shè)計做出貢獻。

參考

空程^※1實測數(shù)據(jù)

• 開環(huán)	全閉環(huán)
  0.51μm	0.15μm(目標(biāo)精度±0.2μm以內(nèi))

• 測量條件

  • 螺桿導(dǎo)程1mm
  • 直線光柵尺分辨率0.1μm
  • 位置范圍：1cnt^※2
  • 采用激光測長測量
• ※1 電動機從CW或CCW方向?qū)δ繕?biāo)位置進行定位，此時的停止位置相對于旋轉(zhuǎn)方向的差。
• ※2 以編碼器脈沖計數(shù)1的誤差（-0.2~0.2μm）為目標(biāo)進行修正。

直線光柵尺

步進電動機無需增益調(diào)整，無微振

• 無需增益調(diào)整
  無需像伺服電動機那樣根據(jù)機構(gòu)進行增益調(diào)整。由于始終不進行利用編碼器反饋的定位運行，因此無需根據(jù)皮帶輪和凸輪等機構(gòu)及負載進行調(diào)整。
• 保持停止位置，無微振
  定位結(jié)束時無微振且可以通過電動機自身保持力停止。適用于需要無振動停止的設(shè)備用途。

可根據(jù)機構(gòu)自由搭配各種傳感器。

支持不同品牌不同種類的傳感器。可以使用與機構(gòu)相匹配的傳感器類型進行反饋。

通用驅(qū)動器尺寸和安裝方法

使用 CVD 系列通用的安裝板，安裝孔間距也相同。備有符合用戶驅(qū)動器安裝方法的形狀、連接器朝向不同的驅(qū)動器。

重量：67g

支持軟件、監(jiān)視功能