無(wú)塵室對(duì)應(yīng)發(fā)塵量

EZS系列通過(guò)使用低發(fā)塵潔凈潤(rùn)滑油和不銹鋼板，提高了氣密性，達(dá)到了ISO規(guī)格3級(jí)（相當(dāng)于FED規(guī)格1級(jí)）。

測(cè)量方法

潔凈度等級(jí)依照「JIS B 9926」測(cè)量。

[ISO規(guī)格]

類別/粒徑（μm）	CLASS3
0.1	1000以下
0.3	102以下
0.5	35以下

發(fā)塵量與吸引量的相關(guān)圖（樣本數(shù)據(jù)的實(shí)測(cè)值）

• ※ 特性圖上的產(chǎn)品名稱是為了方便區(qū)分而列出的。
  AR系列配備的產(chǎn)品與AZ系列化產(chǎn)品的特性相同。