精密自動對位平臺的高精度微調(diào)應用

精密自動對位平臺：高精度、高響應的位置校準

工位：精密自動對位平臺

應用：光學鏡頭、光模塊、傳感器、生物化學應用等檢測、制造類設備

解決方案：5相·高分辨率型步進電動機
●高精度
●全閉環(huán)控制系統(tǒng)
●高響應
●免增益·無微振

5相·高分辨率型步進電動機

高精度的高分辨率型產(chǎn)品，助力高精密檢測

■高分辨率型，停止精度大為提高。

◇分辨率提高（相比標準型）
轉(zhuǎn)子的齒數(shù)由標準型的50個增加到2倍的100個，基本步距角為5相·標準型的一半，即0.36°。

◇結(jié)構(gòu)上更小的步距，實現(xiàn)停止精度更高
與標準型相比，齒輪更密，齒數(shù)更多。通過分散發(fā)生轉(zhuǎn)矩的偏差，減小靜止角度誤差。
5相·標準型：±3分（±0.05°）
5相·高分辨率型：±2分（±0.034°）

◇應用案例
光學元件、透鏡、鏡頭模組檢測
利用高分辨率型電動機提供模組平臺的高精度的精密角度定位，對鏡頭、透鏡等光學元件進行高精準的光路控制對位，保證光通過率。通過精確輔助光路耦合，助力光學器件的高效率檢測。

全閉環(huán)控制應用，構(gòu)建更高精度的定位系統(tǒng)

■驅(qū)動器自身完成全閉環(huán)控制，降低上位的編程調(diào)試困難
CVD系列全新推出全閉環(huán)控制型產(chǎn)品，保持了步進電動機的易用性，通過與外部傳感器的組合，實現(xiàn)高精度定位。構(gòu)建需要更高精度控制的設備及裝置設計。

■彌補機械、組裝精度誤差，優(yōu)化自研精密平臺裝配精度不足的痛點

全閉環(huán)控制型，助您實現(xiàn)亞微米級的高精度定位。

空程測試數(shù)據(jù)（參考）
條件：
螺桿導程1mm
直線光柵尺分辨率0.1μm
使用激光測長測量

結(jié)果：

※在同一位置從不同方向進行定位時，由于受螺桿齒隙的影響，在反轉(zhuǎn)瞬間會產(chǎn)生誤差，稱為空程。

全閉環(huán)控制在一定程度上彌補因機械、裝配所影響的精度誤差。

在自研精密平臺的組裝過程中，因各零部件的加工精度、切割誤差、裝配精密度和組裝工藝差異等因素，最終平臺的精度提升困難，也大大提升了平臺的裝配難度。
全閉環(huán)控制可在一定程度上優(yōu)化自研精密平臺機械·裝配精度不足的痛點。

■獨特的開、閉環(huán)自動切換控制模式，助力高穩(wěn)定性檢測

全閉環(huán)控制型開始定位時，利用步進電動機的高響應進行開環(huán)控制。 從位置指令結(jié)束開始，結(jié)合外部傳感器的反饋，通過全閉環(huán)控制進行位置修正。 完成位置修正時，則再由全閉環(huán)控制切換為開環(huán)控制。

微小移動量的高指令跟隨，實現(xiàn)精密微調(diào)校準

◇微米級別的高指令跟隨

高分辨率型產(chǎn)品在高摩擦負載的環(huán)境下，可切實追隨每一個脈沖的指令。
可為搭配光柵尺實現(xiàn)全閉環(huán)控制系統(tǒng)的高精密對位平臺，提供精密定位調(diào)整的指令跟隨應用。

◇應用案例
光學耦合
精密調(diào)整光源與光纖之間的相對位置與角度，實現(xiàn)光路徑的高效率精準微調(diào)對位，以達成耦合的高精度，助力提高光信號傳輸?shù)目煽啃院头€(wěn)定性。

顯微鏡成像解析應用
在半導體、生物醫(yī)療等成像測量、檢測等微調(diào)場合，高指令跟隨特性在高倍率顯微視野中的精確對位應用，可有效改善漏幀、漏拍等情況。

免增益、無微振，助力檢測效率提升

步進電動機是開環(huán)控制的同步電動機，有其特有的高響應性。對機構(gòu)的剛性無要求，無需增益調(diào)整。
定位結(jié)束時無微振且通過電動機自身保持力停止。

適用于需要無振動停止的設備用途。
實現(xiàn)精密對位平臺對運動指令高響應動作的同時，可改善過沖和定位完成后微振的情況，提升檢測效率。

◇應用案例

分子診斷平臺（測序）
帶動Z軸CCD視覺檢測系統(tǒng)定位完成后的穩(wěn)定停止，且利用自身保持力停止，助力穩(wěn)定高速的拍照成像，提高檢測效率。

相關產(chǎn)品

PKP系列產(chǎn)品

?5相
?2相
高轉(zhuǎn)矩低振動的2相。高精度低振動的5相。備有豐富的產(chǎn)品陣容。