真空型電動(dòng)機(jī)的特征與結(jié)構(gòu)

• 為了抑制氣體釋放，電動(dòng)機(jī)外殼使用鋁、不銹鋼材質(zhì)，表面不涂裝。 此外，軸承使用真空用潤(rùn)滑油。
• 釋放的氣體與通常潔凈環(huán)境下的成分相同，因此無須擔(dān)心污染真空環(huán)境。
• 使用可承受熱處理溫度的耐熱用線圈。

真空型電動(dòng)機(jī)的優(yōu)點(diǎn)

使設(shè)備小型化，擴(kuò)大設(shè)計(jì)的自由度

在大氣中設(shè)置電動(dòng)機(jī)時(shí)，需使用傳動(dòng)機(jī)構(gòu)等，設(shè)備體積會(huì)變大。 真空型電動(dòng)機(jī)可將設(shè)置于真空環(huán)境內(nèi)，因此可讓設(shè)備小型化。 此外，αSTEP AR 系列不需要位置確認(rèn)用傳感器，有助于降低成本。

使用αSTEP AR 系列，無需編碼器即可進(jìn)行位置監(jiān)控

αSTEP AR 系列除了通過閉環(huán)控制監(jiān)視電動(dòng)機(jī)信息外，還搭載各種Alarm輸出功能。 不需要真空對(duì)應(yīng)型的昂貴編碼器。

搭載轉(zhuǎn)子位置檢測(cè)傳感器，可檢測(cè)電動(dòng)機(jī)信息并控制電動(dòng)機(jī)。

在真空中實(shí)現(xiàn)各種運(yùn)動(dòng)

常用于各式各樣的用途，如半導(dǎo)體制造設(shè)備及電子顯微鏡的測(cè)量機(jī)器等。

真空型電動(dòng)機(jī)可對(duì)應(yīng)真空環(huán)境下的多軸平臺(tái)，解決難以設(shè)計(jì)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的問題。 可在真空中組合復(fù)數(shù)軸，實(shí)現(xiàn)更復(fù)雜的動(dòng)作。

有助于維持真空環(huán)境的質(zhì)量

抑制氣體釋放污染真空室的設(shè)計(jì)

為了抑制氣體的產(chǎn)生，電動(dòng)機(jī)表面不做涂裝，軸承部分則使用了真空用潤(rùn)滑油。產(chǎn)生的氣體方面，與通常潔凈環(huán)境下的氣體成分相同，因此使用時(shí)無需擔(dān)心污染真空環(huán)境。

抑制溫度上升維持真空壓

通常，隨著電動(dòng)機(jī)電流值增加，真空壓力會(huì)變高。 電動(dòng)機(jī)溫度上升主因是線圈或樹脂材料的水分蒸發(fā)增加而導(dǎo)致。 若要讓真空壓維持較低狀態(tài)，重點(diǎn)在于保持較低的電動(dòng)機(jī)溫度。

αSTEP AR 系列具有依據(jù)負(fù)載轉(zhuǎn)矩大小調(diào)整電動(dòng)機(jī)電流的功能（CC 模式）。 使用 CC 模式可抑制電動(dòng)機(jī)溫度，并使維持在低真空壓。

下圖為連續(xù)運(yùn)行及運(yùn)轉(zhuǎn)周期比率（斷續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)）時(shí)的轉(zhuǎn)速—溫度特性。

• 即使是溫度容易升高的連續(xù)運(yùn)行，若運(yùn)行速度維持在 900r/min 以下，外表溫度不會(huì)超過 100°C。
• 500r/min 周期運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的外殼溫度與各模式相比，CC 模式時(shí)為 46°C，通常模式時(shí)為 80°C。 CC 模式下溫度降低 34°C。

產(chǎn)品陣容

電源輸入	系列名稱	基本步距角 [°]	真空度 [Pa]	安裝尺寸 [mm]				質(zhì)量 [kg]
				28	42	60	85
AC		0.36	10-5	-	●	●	●	0.47～1.9
DC				●	●	●	●	0.2～3
DC		0.72	10-4	-	●	●	-	0.21～1.3
			10-5	●	-	-	-	0.11～0.2

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技術(shù)資料

在 RENGA 技術(shù)報(bào)告書中，刊登了關(guān)于真空電動(dòng)機(jī)的詳細(xì)信息和資料。

• （2008年11月發(fā)行）
  記載了關(guān)于真空的基礎(chǔ)內(nèi)容。
• （2011年6月發(fā)行）
  記載了 αSTEP AR 系列專門針對(duì)真空的內(nèi)容。